QR系列區熔單晶硅爐
■ 高穩定性的上下軸傳動機構
■ 高可靠性的上 下軸密封機構
■ 高穩定性的高頻振蕩電源
產品描述
QR系列區熔爐是我公司自主開發的專用于拉制區熔單晶硅棒的設備，是- -種綜合了機械、電力、電子、真空等多個專業的具有高技術含量的自動化設備。我公司已申請并授權了二項發明專利，十二
項實用新型專利。該設備能夠完全替代進口區熔爐設備。
QR系列區熔爐的操作自動化程度高、檢測功能完善、保護功能齊全，參數調整靈活簡便，能最大限度的滿足各種拉晶工藝的調整。
QR系列區熔爐能夠拉制單晶直徑為2英寸~8英寸，最大拉單晶長度為1000mm^ 2200mm (等徑部分)，并可進行本征、氣摻區熔單晶的拉制。
關鍵詞:
拉制
單晶硅
最大
8英寸
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